CIF勻膠旋涂儀

 　　CIF勻膠旋涂儀轉速穩定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結構緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。CIF勻膠機可廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

　　勻膠旋涂儀又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

　　其旋轉速度的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能精確標定實時的轉速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒有國際標準認定。
 

　　勻膠旋涂儀的真空泵一定要選用無油的，壓力標定準確，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成*堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這一點許多勻膠機都做得不錯，他們有通過聯動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。

 

勻膠旋涂儀產品特點:

 　　1.采用閉環控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠的均一性。

　　2.5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設置10個勻膠梯度階段，z多100個階段。

　　3.內置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進行旋涂。

　　4.多重安全保護。電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實驗人員安全。

　　5.樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風險。

　　6.一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

　　7.符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計，取放樣品更方便。

　　8.不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

　　9.上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置

　　10.可選氮氣吹干、氮氣保護，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

　　11.適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
 

勻膠旋涂儀技術參數: